Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Берлин Е.В., Сейдман Л.А.Ano:
2010
Editora:
Техносфера
Idioma:
russian
Páginas:
544
ISBN 10:
5948362221
ISBN 13:
9785948362229
Série:
Мир материалов и технологий
Arquivo:
PDF, 49.95 MB
IPFS:
,
russian, 2010